第三方檢測-北京
010-62182643(檢測業務)
010-62182674(試樣加工)
方案簡介：
半導體器件生產過程中，缺陷的存在會不同程度影響產品質量，例如關鍵位置的金屬類夾雜可能會引發器件的短路，清洗溶液不純凈引入的有機、無機析出物可能會導致光刻、離子注入、沉積等環節的失敗，進而引發晶圓圖形與設計不符等問題。因此，晶圓生產制造過程需要對缺陷進行實時監控，并對大量重復出現的缺陷進行分析溯源，以快速明確夾雜、缺陷的來源，從而控制調整相關工藝，穩定產品質量。
納克微束FE-1050熱場發射型掃描電鏡，具有在1kV落點電壓（減速電場）下1.5nm的極限分辨能力，可以對電子束敏感類材料直接成像，最小化對樣品的電子輻照損傷。
FE-1050系列掃描電鏡具有寬大的主腔室和五軸樣品臺，最大可進入φ300mm*50mm尺寸的樣品，整個系統提供多達27個探測器接口，最大程度為用戶觀察分析提供便利。可根據用戶使用場景，做高速采集升級改造，改造后的掃描速度可達到常規掃描電鏡的50-100倍，更適用于大面積連續掃描成像和缺陷自動分析場景。
同時，還可為有特殊缺陷檢測需求的用戶提供定制化的算法外包開發服務，包括但不限于傳統機器視覺、深度學習型機器視覺等類型的服務。定制化服務形式靈活，開發周期可根據用戶產品更迭和產能情況及時調整。
第三方檢測-北京
010-62182643(檢測業務)
010-62182674(試樣加工)
第三方檢測-上海
021-62915511
無損探傷類儀器
010-62182492
010-62183117
010-62183118
分析儀器
400 6218 010
010-62182188
標準物質
010-62181024
62176511
能力驗證
010-62181165
計量校準
010-62182413
010-62182409
腐蝕防護
0532-85891949
0532-85879696
認證評價
010-62182736/2841
培訓咨詢
010-62182851
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